物材機構、日中でも深紫外線だけ検知する太陽光センサーを開発

2005.02.25　日刊工業新聞　34頁　（全577字）

物質・材料研究機構物質研究所スーパーダイヤグループの小出康夫主席研究員らは２４日、太陽光が存在する日中でも波長１９０ナノ―２６０ナノメートルの深紫外線だけを検知する「太陽光ブラインド紫外線センサー」を開発したと発表した。熱安定性に優れ、低電圧で駆動する。火災・タバコ探知機のセンサーや家庭用燃焼機器、工業炉の燃焼炎の自動制御用センサーなどでの使用が期待される。

開発した固体素子型の紫外線センサーは、高品質なダイヤモンド半導体のエピタキシャル単結晶層と、新たに開発した耐熱性に優れる高融点金属カーバイド電極で構成される。５５０度Ｃの高温で３時間の熱処理を行っても受光感度性能を保持できる熱安定性を持つとともに、既存のセンサーに比べて小型で消費電力が少なく、寿命が長いのが特徴だ。

これまで深紫外線だけで応答するセンサーは光電管が実用化されているが、駆動に３００ボルト以上の高電圧が必要で、大きく重いのが難点。また、従来の固体素子型紫外線センサーとしてＩＩＩ族窒化物半導体を用いたものの性能が優れるが、今回開発したセンサーはこれを上回る性能を発揮する。

このセンサーが達成している熱安定性は極めて優れたものであり、ガソリンやタービンエンジン内の高温燃焼炎のセンシングにも応用も可能。研究グループは雑音性能や応答速度、信頼性をさらに向上させ、早期の実用化を目指す。

日刊工業新聞社