物材機構、太陽光ブラインド紫外線センサー開発、５５０度Ｃでも安定

2005.02.25　化学工業日報　1頁　（全654字）

　物質・材料研究機構は、五百五十度Ｃの高温でも受光感度性能を保持する熱安定性に優れた「太陽光ブラインド紫外線センサー」を開発した。高品質ダイヤモンド半導体と、開発した高耐熱性の高融点金属カーバイド電極などで構成する固体素子型としては世界最高水準のセンサー。五百度Ｃ・三時間の熱処理では紫外線／可視光ブラインド比は六ケタで、駆動、波長二百二十ナノメートルの紫外線に対する受光感度一アンペア／ワット程度を逆方向電圧二ボルトで達成。火災・たばこ報知器、家庭用燃焼機器、工業炉の燃焼炎自動制御センサーのほか、ガソリンやタービンエンジン内の高温燃焼炎センシングなどへの応用を見込む。

　太陽光ブラインド紫外線センサーは、太陽光に影響されることなく波長二百八十ナノメートルの紫外線をセンシングする光センサー。これまで光電管では実用化されているが、駆動電圧が三百ボルト以上必要でサイズも大きかった。

　今回開発したセンサーは同百九十−二百六十ナノメートルの深紫外線だけを検知する。ダイヤモンドのエピタキシャル単結晶層と熱安定性に優れた整流性（ショットキー性）の電極にタングステンカーバイドなどを採用、プレナータイプのショットキー型紫外線センサーに仕上げた。五百五十度Ｃで三時間処理でも五百度Ｃ三時間処理とほぼ同等の性能を保つ。

　３族窒化物系半導体を用いた従来の固体素子型紫外線センサーに比べても性能が高い。今後、雑音性能、応答速度、熱安定性、信頼性の向上を図り、次世代ＬＳＩ製造での紫外線露光装置向けも含め、実用化を目指す。

化学工業日報社